日本西格玛精密压电陶瓷平台SFS-H40Z(CL)
特征:
- SFS-H 系列是在原来的SFS 系列的基础上,提高了承载能力和响应速度而开发的压电陶瓷平台。
- 它采用压电陶瓷作为驱动件,可以实现开环控制时的行程为90μm-100μm,理论分辨率为1nm 的微小移动。采用了位移传感器(频率-位移转换方式的小位移传感器),在闭环控制时,实现了10nm 的显示分辨率。
- 和FINE 系列控制器一起使用,可以实现优于0.5%的直线性和高速化。SFS-H60X、40X 可以实现往复运动的频率为10-15Hz(全行,闭环控制时)。
- 这是一款最适用于需要高速,高精度定位的装置或实验用途的平台。
注意
- 此平台的技术参数是指环境温度为20 ± 1 ℃时的值。请在使用之前仔细阅读操作说明书和安装手册等资料。
- 技术指标是指单个平台时的测量值,而不是和其他零部件组合后的测量值。
- 技术指标是指在额定载荷,并且是在平台中心承载时的值,而不是指偏载时的值。
- 精度值是平台正常水平安装使用时的值,如果您需要倒置或垂直使用,请事先向我们确认。
- 精度值是指平台台面附近的值。
- 行程是指开环控制时的值。
- 直线性精度依据的是西格玛光机的测量法。
- 重复定位精度是闭环控制,采样时间为350?s 时的值。
- 分辩率是使用FINE-01 或503 时的值。
规格:
行程(细调)【um】 |
自重【kg】 |
理论分辨率(开环时)【nm】 |
分辩率(闭环时)【nm】 |
直线性误差(%) |
直线度水平方向【um】 |
重复定位精度【um】 |
承载能力【kg】 |
型号 |
90±15 |
0.28 |
1 |
10 |
0.3以下 |
1以下 |
0.1以下 |
1 |
SFS-H40X |
100±15 |
0.7 |
1 |
10 |
0.3以下 |
1以下 |
0.1以下 |
1 |
SFS-H40Z |
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运营商:深圳市杉本贸易有限公司
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