8000系列全自动研削/抛光机,可以在同一个工作盘上进行从背面研削到干式抛光的一系列加工,能进一步提高超薄加工的稳定性。 另外,由于采用了3根主轴、4个工作盘的结构和最佳的搬运部布局,并将真空装置安装于设备内部等一系列的措施,使该机型的外形尺寸更加简洁、紧凑。另外,还可与晶片贴膜机/揭膜机组成联机系统,所以能适用于DBG (Dicing Before Grinding-先切割加工) 系统的建立以及DAF(Die Attach Film)的应用技术。
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DGP8760
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DGP8761
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可加工的晶片直径 |
Max φ300mm |
基本规格 |
加工方式 |
Z1·Z2轴 |
通过旋转晶片实施纵向切入方式 |
Z3轴 |
通过旋转晶片实施不规则纵向切入方式 |
主轴 |
使用主轴 |
高频电机内置式空气静压主轴 |
主轴数量 |
3 |
额定功率(kW) |
Z1·Z2轴 |
4.8 |
6.3 |
Z3轴 |
7.5 |
6.3 |
转速(min-1)[rpm] |
Z1·Z2轴 |
1,000 - 4,000 |
Z3轴 |
1,000 - 3,000 |
1,000 - 4,000 |
Z轴行程 (mm) |
Z1·Z2轴 |
120(附原点) |
Z3轴 |
50 |
Z轴研削进给速度(mm/s) |
0.0001 - 0.08 |
Z轴快速进给速度(mm/s) |
50 |
Z轴最小指定移动量(?m) |
0.1 |
Z轴最小移动量(?m) |
0.1 |
晶片工作盘 |
工作盘式样 |
多孔陶瓷工作盘 |
固定方式 |
真空固定 |
转速(min-1)[rpm] |
0 - 300 |
0 - 800 |
工作盘数量 |
4 |
工作盘清洗 |
利用刷子和油石,在水及压缩空气的喷射状态下进行清洗 |
利用水气双流体装置和整平石,在水及压缩空气的喷射状态下进行清洗 |
晶片清洗 |
通过水气双流体喷头进行水清洗 |
整面研削 (工作盘转速设定值) |
0 - 999 |
使用磨轮 |
金刚石研削磨轮(mm) |
Z1·Z2轴 |
φ300 |
干式抛光磨轮(mm) |
Z3轴 |
φ450 |
晶片搬运部·清洗部 |
晶片盒架数量 |
2 |
晶片盒部流程模式 |
同盒回收流程和异盒回收流程 |
清洗装置 |
通过水气双流体喷头,进行水清洗及干燥 |
真空装置 |
排气速度 |
单台泵 |
26/34(m3/h) 50/60(Hz) |
真空装置 |
20/28(m3/h) 50/60(Hz) (在-70 kPa时) |
到达压力(kPa) |
-90(在循环供水温度为15℃、供水流量为1L/min时) |
电动马达(kW) |
1.5 |
用水量(L/min) |
2.0(在30℃以下时的所需水流量) 1.5(在25℃以下时的所需水流量) 1.0(在20℃以下时的所需水流量)
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加工精度 |
(使用专用工作盘时、在研削φ300 mm晶片时) |
单片晶片内的厚度偏差(?m) |
在3.0以下(只使用Z1轴?Z2轴进行研削时,在3.0以下) |
在2.0以下(只使用Z1轴?Z2轴进行研削时,在1.5以下) |
晶片之间的厚度偏差(?m) |
在±3.0以下(只使用Z1轴?Z2轴进行研削时,在±3.0以下) |
在±2.0以下(只使用Z1轴?Z2轴进行研削时,在±1.5以下) |
精加工面表面粗糙度(?m) |
在Ra0.005以下 只使用Z1轴?Z2轴进行研削时: Ry0.13左右(使用#2000磨轮进行精加工时)/Ry0.15左右(使用#1400磨轮进行精加工时) |
设备尺寸(WxDxH) (mm) |
1,690 x 3,450 x 1,800 |
设备重量 (kg) |
约5,100 |
约6,300 | |
8000系列全自动研削/抛光机,可以在同一个工作盘上进行从背面研削到干式抛光的一系列加工,能进一步提高超薄加工的稳定性。 另外,由于采用了3根主轴、4个工作盘的结构和最佳的搬运部布局,并将真空装置安装于设备内部等一系列的措施,使该机型的外形尺寸更加简洁、紧凑。另外,还可与晶片贴膜机/揭膜机组成联机系统,所以能适用于DBG (Dicing Before Grinding-先切割加工) 系统的建立以及DAF(Die Attach Film)的应用技术。
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