日本崛场(HORIBA)_在线气体浓度计_IR-150

IR-150
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)

概要

在线气体监测仪 IR-150系列是使用了NDIR法(非分散型红外吸收法)的半导体气体浓度监测仪。
它可以在线检测用于化合物半导体制造工艺的液体材料 TMAI、TMGa、TMIn、DEZn 等固体以及液体材料中发生气化的气体浓度。

特点

最适于MOCVD用液体,固体材料气体的浓度管理
实现了与MFC相等的操作通用性和价格统一性。

在线实时检测浓度。
配备有安全探测安全系统(SDSS)，支持将来的300mm全自动晶圆生产。
系统中包括浓度、压力的报警，和报警输出。
小巧、可随意安装设置，不需要选择空间
具备超群的性价比，最适于生产线中的浓度管理。

规格

外形尺寸图　(mm)

使用环境?用途?优点

最适于MOCVD用液体?固体材料生产线的浓度管理，实现了与 MFC同等的操作通用性和价格。

使用环境

GaAｓ设备以面向手机方面的需求为主，其市场不断扩大，预计在卫星广播、卫星通信气体、地面基站间通信系统、高速网络、以及毫米波带中的用途今后还会进一步增加。
光设备的CD/MD、CD-ROM、DVD运用半导体激光等需求也正在急速扩大。在化合物半导体元件制造中，一般是MOCVD以及MBE的外延成长。

用途

在MOCVD以及MOVPE等中，在气缸内对TMAI、TMGa、TMIn、DEZn等固体和液体材料进行加温气化，供应给Use-Point。
在气缸内被加温的材料气体有可能因为气缸的温度和压力、以及材料的余量不同而出现浓度变化。
膜厚变动会给元件特性带来很大影响，为了尽可能减少这种影响，材料浓度的稳定也是其中重要的因素，这就需要对浓度进行监测。

在线气体监测的必要性
在半导体制造工艺中液体材料的増加
↓
通过液体材料气体的载气流量控制直接气化供应，在发泡供应中，由于蒸气压力变化，供应浓度将会发生变化。
↓
产生气体实时浓度监测的必要性
浓度回馈控制的愿望

优点

通过In-situ可以实时进行浓度检测。
小巧、可随意安装，不必选择设置空间。
具有超群的性价比，最适于生产线中的浓度管理。